Инновационная механическая конструкция
ZEISS XENOS впечатляет своей новой механической конструкцией, которая создана на основе проверенного временем решения ZEISS CenterMax. В отличие от стандартной мостовой конструкции, направляющие по оси Y расположены сверху на боковых стенках, поэтому все оси перемещения отделены от области фиксации. По оси Y перемещается только поперечная траверса, что означает очень малую массу подвижных частей. Она всегда остается постоянной – значительное преимущество по сравнению с подвижным столом. Снижение и постоянство движущейся массы вкупе обеспечивают оптимальное согласование приводов с точки зрения ускорения и максимальной скорости.
Линейные приводы на всех осях
В машине ZEISS XENOS используются линейные приводы по всем осям. Преимущества: высокая скорость, очень высокое ускорение, высокая точность позиционирования и отсутствие срезающих усилий в приводах. В сочетании со шкалами высокого разрешения линейные приводы в машине ZEISS XENOS гарантируют очень точное соблюдение траектории и чрезвычайно высокую точность позиционирования с погрешностью менее 100 нм. Например, отклонение щупа становится более постоянным, что повышает точность. Еще одно преимущество проявляется при измерении криволинейных поверхностей: щуп более надежно и точно следует по заданному пути, надежнее выявляются ошибки.
Виртуальный центральный привод
ZEISS XENOS имеет два линейных привода по оси Y, которые синхронизируются посредством центрального привода – новой технологии, разработанной в ZEISS. Она обеспечивает оптимальное распределение сил приводов в зависимости от положения оси Х. В этих целях применяется новейшее поколение контроллеров и алгоритмов. Это ключевой элемент, обеспечивающий максимальную точность и наилучшее соответствие заданной траектории во всем диапазоне измерений.
